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一種硅粉的制作方法百度學(xué)術(shù)張永本發(fā)明涉及半導(dǎo)體材料,具體地說是一種生產(chǎn)超細超純硅粉的方法。該硅粉的主要成分為二氧化硅大于,鐵小于,硅粉顆粒的直徑小于微米,在硅粉顆粒的外表面包覆硅微粉生產(chǎn)工藝流程和環(huán)保措施豆丁網(wǎng)年月日硅微粉生產(chǎn)工藝流程和環(huán)保措施,硅微粉生產(chǎn)工藝流程和環(huán)保措施硅微粉生產(chǎn)流程包括原材料的加工不提純硅微粉的生產(chǎn)以及生產(chǎn)環(huán)節(jié)中的環(huán)保工