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超精密單平面研磨機(jī)的研究與開發(fā)_百度文庫

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2013年3月2日-高精密閥門平面研磨機(jī)專業(yè)加工密封件,平面度可達(dá)0.1um.粗糙度達(dá)0.15nm,完全能達(dá)到國際水平.一般媒油密封能確保二天內(nèi)不溢出一滴液體,氣體密封

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超精密平面研磨機(jī)

2超精密研磨機(jī)工作原理 超精密平面研磨機(jī)主要應(yīng)用于亞納米級超光滑平面零件、中小型精密平面零件的超精密研磨和拋光加工。此外,通過附加工裝,還可將其應(yīng)用于球類和